Universal-150 Smart 是凭据当前市场需要开发的成熟6英寸CMP装设备。该设备占有自主知识产权的创新技术 ，建设机能优越的抛光单元及洗濯单元 ，兼容6/8英寸晶圆 ，合用于多种材质 ，可实现晶圆表表的超高平坦度 ，工艺搭配矫捷、产出率高 ，满足成熟造程技术需要 ，已在第三代半导体、MEMS等造作工艺中批量利用。
多分区抛光头
兼容6/8英寸晶圆
工艺搭配矫捷、产出率高
满足成熟造程技术需要
