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华海清科12英寸超精密晶圆减薄机 Versatile-GP300量产机台出机
2023年04月30日

近日 ,华海清科股份有限公司(简称“华海清科” ,股票代码:688120)全新一代12英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300量产机台出机发往集成电路龙头企业 ,标志取公司自主研发的国产减薄设备批量进入大出产线 ,添补了国内芯片设备行业在超精密减薄技术领域的空缺。

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  华海清科Versatile-GP300是业内初次实现12英寸晶圆超精密磨削和CMP全驹旖坦化的有机整合集成设备 ,自主研发的超精密晶圆磨削系统不变实现12英寸晶圆片内磨削TTV<1um ,达到了国内当先和国际先进水平;G蹇拼葱驴⒌腃MP多区压力智能节造系统 ,突破传统减薄机的精度限度 ,实现了减薄工艺全过程的不变可控。


  当前 ,Versatile-GP300机台机能获得客户宽泛认可 ,现已收成蕴含先进存储、Chiplet封装等技术领域在内的多个订单 ,近期将陆续出机。伴随市场需要与技术发展趋向 ,Versatile-GP300利用远景辽阔 ,华海清科对峙面向世界科技前沿 ,以自主创新驱动持续发展 ,将持续为集成电路、先进封装等领域客户提供更多优质设备与服务。

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